問：準(zhǔn)分子激光器的工作原理？
答：準(zhǔn)分子激光器是以惰性氣體和鹵素氣體的混合氣體為工作物質(zhì)的氣體激光器。通過高壓電容在短時(shí)間內(nèi)迅速放電的方式進(jìn)行激勵(lì)。當(dāng)受激態(tài)準(zhǔn)分子的不穩(wěn)定分子鍵斷裂而離解成基態(tài)原子時(shí),受激態(tài)的能量以激光輻射的形式放出。
問：準(zhǔn)分子激光器有哪些輸出波長？?
答：準(zhǔn)分子激光輸出都處于紫外波段，最常用的波長有157 nm、193 nm、248 nm、308 nm、351nm。
問：準(zhǔn)分子激光器的主要用途？
答：準(zhǔn)分子激光的用途十分廣泛，可分為工業(yè)領(lǐng)域和醫(yī)療領(lǐng)域。
l工業(yè)領(lǐng)域：
1.半導(dǎo)體光刻；
2.準(zhǔn)分子激光精密微加工；
3.脈沖激光沉積等鍍膜設(shè)備的激發(fā)源；
4.光譜、質(zhì)譜等分析儀器的激發(fā)源；
l醫(yī)療領(lǐng)域：
1.準(zhǔn)分子激光角膜切削術(shù)；
2.冠脈血栓消融術(shù)（ELCA）；
問：準(zhǔn)分子激光加工的主要特點(diǎn)？
答：準(zhǔn)分子激光由于波長短、光子能量大、平均功率高、相干性較弱等特點(diǎn)，是非常好的激光加工光源，可以對(duì)絕大多數(shù)物質(zhì)進(jìn)行無熱效應(yīng)的“冷”加工，既可以實(shí)現(xiàn)高分辨的芯片光刻，也可以對(duì)高分子等材料進(jìn)行深度刻蝕。大多數(shù)聚合物在紫外波長的吸收都非常強(qiáng)烈，因此準(zhǔn)分子激光加工高分子材料的效率很高。
問：準(zhǔn)分子激光在平板顯示領(lǐng)域的主要應(yīng)用？
答：準(zhǔn)分子激光退火技術(shù)（ELA）采用308 nm準(zhǔn)分子激光將非晶硅薄膜轉(zhuǎn)變成高質(zhì)量多晶硅薄膜，提高TFT（薄膜晶體管）性能。308 nm準(zhǔn)分子激光可以將玻璃基板上的透明柔性顯示電路進(jìn)行剝離。
總機(jī)：0316-6154030
