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當(dāng)前位置:
激光清洗系統(tǒng)

激光清洗系統(tǒng)

專業(yè)的全自動(dòng)芯片PAD管腳清洗設(shè)備,穩(wěn)定性好、加工質(zhì)量好、成品率高、加工效率特別快。
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專業(yè)的全自動(dòng)芯片PAD管腳清洗設(shè)備,穩(wěn)定性好、加工質(zhì)量好、成品率高、加工效率特別快。

產(chǎn)品型號(hào):ZYJG-2000。


激光清洗系統(tǒng)產(chǎn)品說明:

        Ex-light是新一代準(zhǔn)分子激光清洗系統(tǒng)。采用了德國Mlase超穩(wěn)定的低功率準(zhǔn)分子激光器,通過光束傳導(dǎo)、勻化、投影技術(shù),使激光均勻照射到材料表面,對(duì)材料進(jìn)行紫外激光加工。該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊,集成度高,光路穩(wěn)定實(shí)用,光斑勻化效好,傳輸效率高,增強(qiáng)樣品表面激光能量密度,提高加工質(zhì)量和效率。


準(zhǔn)分子激光器:

       逐層去除、非接觸式、無二次污染、無損耗。


應(yīng)用行業(yè):

        1、微電子行業(yè):晶圓面板激光清洗、電路板清洗;

        2、OLED微型顯示器芯片:芯片管腳PAD焊線前激光清洗、液晶顯示器清洗;

        3、文物藝術(shù)品保護(hù):無損還原;

        4、汽車產(chǎn)業(yè):各種焊接處焊后激光清洗;

       5、其它:材料表面各種雜質(zhì)、氧化物、微小顆粒物、油污去除。


技術(shù)特點(diǎn):

1、DUV準(zhǔn)分子激光器,短脈寬,高峰值功率;

2、靜態(tài)氣體壽命 >30天;

3、激光器壽命 >20億次脈沖;

4、多種光路方案,可定制;

5、反射/透射照明;

6、X,Y位移臺(tái)安裝在剛性花崗巖基座上,線性驅(qū)動(dòng),1μm分辨率 ;

7、電動(dòng)焦點(diǎn)控制(沿Z軸);

8、配有同軸和離軸相機(jī),模式識(shí)別軟件可選 ;

9、快速響應(yīng)時(shí)間,易于操作的軟件;

10、同軸機(jī)器視覺示意圖,所見即所得。


光束傳播特點(diǎn):

1、能量控制 10-80% ;

2、投影縮倍4x-20x ,可定制;

3、工作距離>25mm;

4、目標(biāo)能量密度 0.25-10J/cm2 ;

5、同軸顯微成像;

6、光斑勻化系統(tǒng)。


光路勻化介紹:微透鏡陣列勻光成像示意圖 

晶圓清洗監(jiān)控界面-所見即所得

加工代碼、路線、導(dǎo)航界面

準(zhǔn)分子激光傳輸/照明/機(jī)器視覺系統(tǒng)示意圖  




Mlase準(zhǔn)分子激光器:采用德國Mlase準(zhǔn)分子激光器作為光源,能量輸出穩(wěn)定,光束質(zhì)量好,有較短脈沖寬度和較高峰值功率。免維護(hù)設(shè)計(jì),使用簡便、安全、穩(wěn)定、高效。


軟件功能:

1、圖形化加工路徑顯示;

2、晶圓自動(dòng)聚焦、自動(dòng)對(duì)位;

3、大視野晶圓導(dǎo)航圖;

4、激光參數(shù)設(shè)定及調(diào)試;

5、加工進(jìn)程控制、中斷自動(dòng)恢復(fù);

6、芯片參數(shù)導(dǎo)入;

7、壞點(diǎn)剔除功能;


參數(shù):

波長

193nm /248nm

脈沖寬度

5-10 ns

單光斑加工面積

>400um x400um

光學(xué)分辨率

1um

最高能量密度

>10J/cm2

脈沖穩(wěn)定性

≤2%

脈沖重復(fù)頻率

1-1000Hz

系統(tǒng)框架

大理石光學(xué)基座以及金屬框架結(jié)構(gòu)

機(jī)器視覺

同軸照明/觀察,所見即所得

投影物鏡

紫外超長工作距離物鏡

掩膜版位移臺(tái)

100mm x100mm,定位精度:±1um

Z軸電動(dòng)平臺(tái)

50mm行程,±1μm重復(fù)定位精度

衰減器

電動(dòng)可調(diào)、調(diào)節(jié)范圍15%-80%

控制軟件

LPCPro3D自動(dòng)加工處理軟件