產(chǎn)品型號:ZYJG-2000。
激光清洗系統(tǒng)產(chǎn)品說明:
Ex-light是新一代準(zhǔn)分子激光清洗系統(tǒng)。采用了德國Mlase超穩(wěn)定的低功率準(zhǔn)分子激光器,通過光束傳導(dǎo)、勻化、投影技術(shù),使激光均勻照射到材料表面,對材料進行紫外激光加工。該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計緊湊,集成度高,光路穩(wěn)定實用,光斑勻化效好,傳輸效率高,增強樣品表面激光能量密度,提高加工質(zhì)量和效率。
準(zhǔn)分子激光器:
逐層去除、非接觸式、無二次污染、無損耗。
應(yīng)用行業(yè):
1、微電子行業(yè):晶圓面板激光清洗、電路板清洗;
2、OLED微型顯示器芯片:芯片管腳PAD焊線前激光清洗、液晶顯示器清洗;
3、文物藝術(shù)品保護:無損還原;
4、汽車產(chǎn)業(yè):各種焊接處焊后激光清洗;
5、其它:材料表面各種雜質(zhì)、氧化物、微小顆粒物、油污去除。
技術(shù)特點:
1、DUV準(zhǔn)分子激光器,短脈寬,高峰值功率;
2、靜態(tài)氣體壽命 >30天;
3、激光器壽命 >20億次脈沖;
4、多種光路方案,可定制;
5、反射/透射照明;
6、X,Y位移臺安裝在剛性花崗巖基座上,線性驅(qū)動,1μm分辨率 ;
7、電動焦點控制(沿Z軸);
8、配有同軸和離軸相機,模式識別軟件可選 ;
9、快速響應(yīng)時間,易于操作的軟件;
10、同軸機器視覺示意圖,所見即所得。
光束傳播特點:
1、能量控制 10-80% ;
2、投影縮倍4x-20x ,可定制;
3、工作距離>25mm;
4、目標(biāo)能量密度 0.25-10J/cm2 ;
5、同軸顯微成像;
6、光斑勻化系統(tǒng)。
光路勻化介紹:微透鏡陣列勻光成像示意圖 | ||
晶圓清洗監(jiān)控界面-所見即所得 | 加工代碼、路線、導(dǎo)航界面 | 準(zhǔn)分子激光傳輸/照明/機器視覺系統(tǒng)示意圖 |
Mlase準(zhǔn)分子激光器:采用德國Mlase準(zhǔn)分子激光器作為光源,能量輸出穩(wěn)定,光束質(zhì)量好,有較短脈沖寬度和較高峰值功率。免維護設(shè)計,使用簡便、安全、穩(wěn)定、高效。 | ||
軟件功能:
1、圖形化加工路徑顯示;
2、晶圓自動聚焦、自動對位;
3、大視野晶圓導(dǎo)航圖;
4、激光參數(shù)設(shè)定及調(diào)試;
5、加工進程控制、中斷自動恢復(fù);
6、芯片參數(shù)導(dǎo)入;
7、壞點剔除功能;
參數(shù):
波長 | 193nm /248nm |
脈沖寬度 | 5-10 ns |
單光斑加工面積 | >400um x400um |
光學(xué)分辨率 | 1um |
最高能量密度 | >10J/cm2 |
脈沖穩(wěn)定性 | ≤2% |
脈沖重復(fù)頻率 | 1-1000Hz |
系統(tǒng)框架 | 大理石光學(xué)基座以及金屬框架結(jié)構(gòu) |
機器視覺 | 同軸照明/觀察,所見即所得 |
投影物鏡 | 紫外超長工作距離物鏡 |
掩膜版位移臺 | 100mm x100mm,定位精度:±1um |
Z軸電動平臺 | 50mm行程,±1μm重復(fù)定位精度 |
衰減器 | 電動可調(diào)、調(diào)節(jié)范圍15%-80% |
控制軟件 | LPCPro3D自動加工處理軟件 |