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激光清洗系統(tǒng)

激光清洗系統(tǒng)

專業(yè)的全自動芯片PAD管腳清洗設備,穩(wěn)定性好、加工質量好、成品率高、加工效率特別快。
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專業(yè)的全自動芯片PAD管腳清洗設備,穩(wěn)定性好、加工質量好、成品率高、加工效率特別快。

產(chǎn)品型號:ZYJG-2000。


激光清洗系統(tǒng)產(chǎn)品說明:

        Ex-light是新一代準分子激光清洗系統(tǒng)。采用了德國Mlase超穩(wěn)定的低功率準分子激光器,通過光束傳導、勻化、投影技術,使激光均勻照射到材料表面,對材料進行紫外激光加工。該系統(tǒng)結構設計緊湊,集成度高,光路穩(wěn)定實用,光斑勻化效好,傳輸效率高,增強樣品表面激光能量密度,提高加工質量和效率。


準分子激光器:

       逐層去除、非接觸式、無二次污染、無損耗。


應用行業(yè):

        1、微電子行業(yè):晶圓面板激光清洗、電路板清洗;

        2、OLED微型顯示器芯片:芯片管腳PAD焊線前激光清洗、液晶顯示器清洗;

        3、文物藝術品保護:無損還原;

        4、汽車產(chǎn)業(yè):各種焊接處焊后激光清洗;

       5、其它:材料表面各種雜質、氧化物、微小顆粒物、油污去除。


技術特點:

1、DUV準分子激光器,短脈寬,高峰值功率;

2、靜態(tài)氣體壽命 >30天;

3、激光器壽命 >20億次脈沖;

4、多種光路方案,可定制;

5、反射/透射照明;

6、X,Y位移臺安裝在剛性花崗巖基座上,線性驅動,1μm分辨率 ;

7、電動焦點控制(沿Z軸);

8、配有同軸和離軸相機,模式識別軟件可選 ;

9、快速響應時間,易于操作的軟件;

10、同軸機器視覺示意圖,所見即所得。


光束傳播特點:

1、能量控制 10-80% ;

2、投影縮倍4x-20x ,可定制;

3、工作距離>25mm;

4、目標能量密度 0.25-10J/cm2 ;

5、同軸顯微成像;

6、光斑勻化系統(tǒng)。


光路勻化介紹:微透鏡陣列勻光成像示意圖 

晶圓清洗監(jiān)控界面-所見即所得

加工代碼、路線、導航界面

準分子激光傳輸/照明/機器視覺系統(tǒng)示意圖  




Mlase準分子激光器:采用德國Mlase準分子激光器作為光源,能量輸出穩(wěn)定,光束質量好,有較短脈沖寬度和較高峰值功率。免維護設計,使用簡便、安全、穩(wěn)定、高效。


軟件功能:

1、圖形化加工路徑顯示;

2、晶圓自動聚焦、自動對位;

3、大視野晶圓導航圖;

4、激光參數(shù)設定及調(diào)試;

5、加工進程控制、中斷自動恢復;

6、芯片參數(shù)導入;

7、壞點剔除功能;


參數(shù):

波長

193nm /248nm

脈沖寬度

5-10 ns

單光斑加工面積

>400um x400um

光學分辨率

1um

最高能量密度

>10J/cm2

脈沖穩(wěn)定性

≤2%

脈沖重復頻率

1-1000Hz

系統(tǒng)框架

大理石光學基座以及金屬框架結構

機器視覺

同軸照明/觀察,所見即所得

投影物鏡

紫外超長工作距離物鏡

掩膜版位移臺

100mm x100mm,定位精度:±1um

Z軸電動平臺

50mm行程,±1μm重復定位精度

衰減器

電動可調(diào)、調(diào)節(jié)范圍15%-80%

控制軟件

LPCPro3D自動加工處理軟件