Ex-Power是新一代準(zhǔn)分子激光剝離系統(tǒng)。采用了高穩(wěn)定性的準(zhǔn)分子激光器作為光源,通過精密的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計,在光束傳導(dǎo)過程中,對激光光斑進行整形和勻化,并通過專用的投影物鏡,將激光均勻照射在材料表面。該系統(tǒng)具備結(jié)構(gòu)緊湊、光斑勻化效果好、傳輸效率高、能量密度大等優(yōu)勢。將紫外準(zhǔn)分子激光技術(shù)和高精度的機械運動系統(tǒng)相結(jié)合,大大提高了激光剝離的質(zhì)量和效率,非常適合工藝研發(fā)和批量工業(yè)生產(chǎn)。
技術(shù)特點:
1、193/248/308nm 激光器,短脈寬,高峰值功率;
2、靜態(tài)氣體壽命 >30 天;
3、激光器壽命 >5億次脈沖;
4、最高能量密度 10J/cm2;
5、多種光路方案,可定制;
6、同軸機器視覺示意圖,所見即所得,反射/透射同軸照明;
7、X,Y位移臺安裝在剛性花崗巖基座上,線性驅(qū)動,±1mm精度;
8、電動焦點控制(沿 Z 軸);
9、配有同軸和離軸相機,模式識別軟件可選;
10、功能全面,易于操作的專用加工軟件;
應(yīng)用領(lǐng)域:
1、LED 藍(lán)寶石襯底剝離;
2、柔性屏與玻璃基板剝離;
3、微流控芯片;
4、柔性電路板加工;
5、玻璃表面微結(jié)構(gòu);
6、MiniLED剝離;
7、MircoLED剝離巨量轉(zhuǎn)移;
8、激光修復(fù);
9、晶圓與載體激光解鍵合;
光束傳播特點:
1、能量控制范圍 10-80%;
2、縮倍比 4x-20x;
3、焦距 25mm~150mm;
4、目標(biāo)能量密度 0.25-10J/cm2 ;
準(zhǔn)分子激光傳輸/照明/機器視覺系統(tǒng)示意圖
參數(shù):
波長 | 193nm / 248nm / 308nm |
脈沖寬度 | 5-20ns |
單次剝離尺寸 | < 0.2x0.2mm方光斑或50x0.1mm線光斑 |
光學(xué)分辨率 | 1um |
最高能量密度 | 10J/cm2 |
脈沖穩(wěn)定性 | ~1% |
脈沖重復(fù)頻率 | 1-100Hz/1000Hz |
系統(tǒng)框架 | 大理石光學(xué)基座以及金屬框架結(jié)構(gòu) |
機器視覺 | 同軸照明/觀察,所見即所得 |
投影物鏡 | 紫外超長工作距離物鏡 |
X/Y軸電動平臺 | 100mm x 100mm/200mm x 200mm/300mm x 300mm,±1um重復(fù)定位精度 |
Z軸電動平臺 | 25mm,±1um重復(fù)定位精度 |
電動衰減器 | 10%-80%電動連續(xù)可調(diào) |
控制軟件 | 10%-80%電動連續(xù)可調(diào) |