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當(dāng)前位置:
準(zhǔn)分子激光剝離系統(tǒng)
    發(fā)布時間: 2023-04-11 09:48    

Ex-Power是新一代準(zhǔn)分子激光剝離系統(tǒng)。采用了高穩(wěn)定性的準(zhǔn)分子激光器作為光源,通過精密的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計,在光束傳導(dǎo)過程中,對激光光斑進行整形和勻化,并通過專用的投影物鏡,將激光均勻照射在材料表面。該系統(tǒng)具備結(jié)構(gòu)緊湊、光斑勻化效果好、傳輸效率高、能量密度大等優(yōu)勢。將紫外準(zhǔn)分子激光技術(shù)和高精度的機械運動系統(tǒng)相結(jié)合,大大提高了激光剝離的質(zhì)量和效率,非常適合工藝研發(fā)和批量工業(yè)生產(chǎn)。

準(zhǔn)分子激光剝離系統(tǒng)

技術(shù)特點:

1、193/248/308nm 激光器,短脈寬,高峰值功率;

2、靜態(tài)氣體壽命 >30 天;

3激光器壽命 >5億次脈沖;

4、最高能量密度 10J/cm2;

5、多種光路方案,可定制;

6、同軸機器視覺示意圖,所見即所得,反射/透射同軸照明;

7、X,Y位移臺安裝在剛性花崗巖基座上,線性驅(qū)動,±1mm精度;

8、電動焦點控制(沿 Z 軸);

9、配有同軸和離軸相機,模式識別軟件可選;

10、功能全面,易于操作的專用加工軟件;


應(yīng)用領(lǐng)域:

1、LED 藍(lán)寶石襯底剝離;

2、柔性屏與玻璃基板剝離;

3、微流控芯片;

4、柔性電路板加工;

5、玻璃表面微結(jié)構(gòu);

6、MiniLED剝離;

7、MircoLED剝離巨量轉(zhuǎn)移;

8、激光修復(fù);

9、晶圓與載體激光解鍵合;


光束傳播特點:

1、能量控制范圍 10-80%;

2、縮倍比 4x-20x;

3、焦距 25mm~150mm;

4、目標(biāo)能量密度 0.25-10J/cm2 ;


準(zhǔn)分子激光傳輸/照明/機器視覺系統(tǒng)示意圖 


參數(shù):

波長193nm  /  248nm  /  308nm
脈沖寬度5-20ns
單次剝離尺寸< 0.2x0.2mm方光斑或50x0.1mm線光斑
光學(xué)分辨率1um
最高能量密度10J/cm2

脈沖穩(wěn)定性

~1%
脈沖重復(fù)頻率1-100Hz/1000Hz
系統(tǒng)框架大理石光學(xué)基座以及金屬框架結(jié)構(gòu)
機器視覺同軸照明/觀察,所見即所得
投影物鏡紫外超長工作距離物鏡
X/Y軸電動平臺100mm x 100mm/200mm x 200mm/300mm x 300mm,±1um重復(fù)定位精度
Z軸電動平臺25mm,±1um重復(fù)定位精度
電動衰減器10%-80%電動連續(xù)可調(diào)
控制軟件10%-80%電動連續(xù)可調(diào)