產(chǎn)品型號:
DU
產(chǎn)品特點:
本系統(tǒng)采用193nm準分子激光器和355nm固體激光器,兼顧了兩種紫外激光器的優(yōu)勢,可以適應(yīng)更多的材料加工;同時兼顧加工速速和微米級甚至百納米級加工質(zhì)量;原位加工,還可以完成不同材料逐層加工,不失精度。
選配:
1、激光器:(以下激光器的兩種或者多種)、二氧化碳激光器、固體激光器(1064、532、355、266、213nm;1030、515、343nm可選)、準分子激光器(波長308、248、193、157nm可選)、飛秒激光器(800、400、266nm;1028、514、343、257nm可選)、各種光纖飛秒激光器。
2、多光路切換:同一種激光器還可以出基頻、二倍頻、三倍頻、四倍頻切換輸出,或者多路輸出。
3、各種光束整形器件:光斑勻化器件、S波片、空間光調(diào)制器、貝塞爾光束、高斯轉(zhuǎn)平頂?shù)取?/span>
4、振鏡、旋切頭:大尺寸加工,高深徑比孔,傾斜孔等。